Плазменные установки ZEPTO – LOW COST
2,6-литровая лабораторная установка "Plasma system ZEPTO" с полуавтоматическим управлением применяется в следующих областях:
- Малосерийное производство
- Аналитика (REM, TEM)
- Медицинская техника
- Стерилизация
- Научно-исследовательские работы
- Археология
- Текстильное производство
- Полупроводниковые технологии
- Технологии обработки полимерных материалов
Low cost plasma system ZEPTO:
Исследовательские работы, очистка, активация, травление (мелкосерийные процессы)
Технические характеристики
Технические характеристики: |
Plasma cleaner Zepto |
Шкаф распределительного устройства: |
Ш 425мм, В 185мм, Г 450мм |
Камера: |
Материал стекло, Ø 105 мм, Г 300 мм |
Объем камеры: |
~ 2,6 литра |
Подвод газа: |
2 регулятора расхода газа с игольчатыми клапанами |
Генератор: |
40 кГц /200 Вт или 13,56 мГц /50 Вт |
Вакуумный насос: |
Всасывающий: 2 м³/час |
Комплектация: |
Подложка для обрабатываемых образцов– 1 шт. |
Управление: |
Ручное, время устанавливается таймером |