Паромасляные диффузионные насосы

Диффузионные насосы фирмы Hindhivac разработаны для удовлетворения потребностей в высоком вакууме промышленности и исследовательских лабораторий. Превосходная быстрота действия диффузионных насосов позволяет использовать их в вакуумных печах, в вакуумных установках для нанесения покрытий линз, в установках по нанесению тонкоплёночных покрытий и в других промышленных целях. Эти насосы способны достигать давлений порядка 10^-6 – 10^-7 мбар.


OD 114D	OD 150	OD 250D	OD 230	OD 500

Принцип действия диффузионного паромасляного насоса

Паромасляный вакуумный насос имеет водоохлаждаемый металлический корпус в виде цилиндра с глухим днищем, в которое вставлены паропроводы с соплами. Рабочую жидкость заливают в насос, и она подогревается электрическим нагревателем. Пары жидкости поднимаются по паропроводам к соплам, выходят через них в объем насоса, конденсируются на стенках, и образующийся конденсат по стенкам стекает вниз и вновь попадает в кипятильник.

В результате постоянного испарения и конденсации рабочей жидкости между паропроводами и объемом насоса поддерживается значительный перепад давлений. Вследствие этого, а также вследствие специальной конструкции сопел пар истекает в объем корпуса насоса со сверхзвуковой скоростью. Молекулы откачиваемого газа диффундируют в струю пара, при соударении с более тяжелыми частицами пара получают направленное движение вниз и к стенкам корпуса и скапливаются в зоне конденсации пара. Там они увлекаются в движение следующей ступенью откачки, последовательно сжимаются каждой ступенью, пока не попадут в зону действия механического насоса и удалятся из диффузионного вакуумного насоса.

Отличительные особенности диффузионных насосов

- Корпус диффузионного насоса изготовлен из высококачественной нержавеющей стали, сопла изготовлены из алюминия или также нержавеющей стали
- Высокая быстрота действия и низкие предельные давления
- Встроенная водоохлаждаемая масляная ловушка, гарантирующая низкий уровень поступления масла в камеру
- Низкие масляные потери даже при высоком потоке газа через встроенную водоохлаждаемую форвакуумную ловушку
- Высокая устойчивость низкого вакуума даже при понижении мощности нагрева
- Нагревающие картриджи доступны извне через нагревающие отверстия, которые встроены в нагреватель. Это гарантирует быструю замену нагревающего картриджа даже при горячем насосе
- Датчик контроля температуры, встроенный в стандарте, работает как тепловое реле и гарантирует, что нагревающий картридж не перегреется
- Все насосы готовы к установке термовыключателя (как опция) для проверки циркуляции воды в системе охлаждения и термометра (как опция) для контроля рабочей температуры насоса
- Индикатором уровня масла служит смотровое окно, позволяющее проверять текущий уровень масла в насосе

Технические характеристики диффузионных насосов

Сведения	OD 65D	OD 80	OD 114D	OD 150D	OD 250D	OD 320	OD 350D	OD 500
Быстрота действия (л/с)	120	240	280	700	2000	3500	6000	12000
Число ступеней	3	3	3	3	3	3	4	4
Рекомендуемое масло	DC 704	DC 704	DC 704	DC 704	DC 704		DC 704	DC 704
Объём масла (см³)	80	90	100	250	500	1200	1200	3500
Рекомендованная быстрота действия форвакуумного насоса (м³/ч)	6	6	15	21	45	45	120	250
Предельное давление запуска (мбар) с маслом DC 704	0,35	0,35	0,35	0,35	0,35	0,35	0,35	0,35
Мощность нагрева (Вт)	350	350	500	1350	2250	4550	3750	7500
Потребляемое напряжение и частота	230В 50Гц	230В 50Гц	230В 50Гц	230В 50Гц	230В 50Гц	3х230В 50Гц	440В 50Гц	440В 50Гц
Предельное остаточное давление (мбар) с DC 704	5х10^-7	5х10^-7	2х10^-7	2х10^-7	2х10^-7	5х10^-7	5х10^-7	5х10^-7
Количество отверстий	PCD114 9мм, 6отв.	PCD114 8,5мм, 6отв.	PCD159 9мм, 4отв.	PCD228,5 11мм, 4отв.	PCD335 17мм, 12отв.	PCD320 ISO-K	PCD445 22мм, 12отв.	PCD600 22мм, 22отв.
Выходное соединение	QF16	QF16	QF25	QF25	QF25	DN63 ISO-K	PCD130 4отв. 13	PCD170 8отв. 18
Охладитель	вода	воздух 25-30^оС	вода	вода	вода	вода	вода	вода
Время прогрева (мин)	15	30	15	15	20	20	20	20
Время охлаждения (мин)	30	30	30	30	45	50	50	50
Материал корпуса	SS 304	SS 304	SS 304	SS 304	SS 304	SS 304	SS 304	SS 304
Материал сопла	Al	Al	Al	SS+Al	SS+Al	Al	Al	Al
Вес нетто (кг)	7.5	6	11	29	50	45	70	150

Габаритные размеры

Габаритные размеры паромасляных диффузионных вакуумных насосов

Модель	B Dia	C PC.D	D×N DIAXNos	E Dia	F	G	H	I	J O-RING
OD-65D	133	114	9x6 Nos	76	173	DN-16 ISO-KF	105	373	9No-084 C/S-5,53
OD-114D	178	159	9x4 Nos	118	220	DN-25 ISO-KF	139	474	9No-126 C/S-6,99
OD-150D	254 (ROTATABLE)	228,5	11x8 Nos	162,7	370	DN-25 ISO-KF	190	715	9No-177 C/S-6,99
OD-250D	374 (ROTATABLE)	335	17x12 Nos	254	490	DN-50 ISO-KF	305	842	9No-262 C/S-6,99

Вакуумные диффузионные насосы, габаритные размеры

Модель

B
Dia

C
PC.D

D?N

DIAXNos

Dia

PC.D

dxn

DIAXNos

O-RING

OD-80

130

114

8,5x6 Nos

106

DN-16

ISO-KF

108

308

9No-085

C/S-5,33

OD-320

370

DN320150-K

317

341

DN631SO-K

337

640

9No-330

C/S-5,33

OD-350

490

(ROTATABLE)

445

22x12 Nos

350

308

160

(ROTATABLE)

130

13x4 Nos

300

700

9No-380

C/S-6,99

9No-79

C/S-5,33

OD-500

645

(ROTATABLE)

600

22x20 Nos

500

380

210

(ROTATABLE)

170

18x8 Nos

400

1000

9No-520

C/S-6,99

9No-110

C/S-5,33

Паромасляные диффузионные насосы HHV: Технические характеристики