Магниторазрядные (ионно-гетерные) насосы
Магниторазрядные насосы широко используются в тех отраслях, где необходима работа с высоким и сверхвысоким вакуумом. С помощью них достигается наивысочайший уровень вакуума при относительно невысокой цене. Кроме того, магниторазрядные насосы обладают рядом преимуществ в сравнении с другими технологиями:
- Отсутствие вибраций
- Практически отсутствуют затраты на обслуживание
- Большой ресурс (50 000 часов)
- Насос сам по себе является датчиком вакуума, индикация значения на контроллере
- Возможность прогрева
- Устойчивы к воздействию радиации
Компания Gamma Vacuum предлагает широкий ассортимент магниторазрядных насосов TiTan™ Ion pumps, специально разработанных для выполнения различных задач.
Характеристики насосов
Ресурс: Все магниторазрядные насосы Gamma Vacuum рассчитаны для работы в течении 45 000 – 50 000 часов на давлении 10-6 мбар. Ресурс значительно возрастает при понижении давления. При давлении на уровне 10-9 мбар насос может работать десятилетия.
Предельное остаточное давление: магниторазрядные насосы Gamma Vacuum способны достигать давлений ниже 1х10-10 mbar. Предельное остаточное давление в случае использования магниторазрядного насоса определяется конфигурацией системы в целом.
Каждый насос может быть оборудован присоединительными фланцами стандарта CF различных диаметров. Также дополнительные присоединительные фланцы могут быть расположены сверху снизу или сбоку.
Особенности и преимущества магниторазрядных насосов
|
Серия TiTan CV (стандартный) |
Серия TiTan Di (differential) |
Серия TiTan TR (triode) |
|
В конструкции стандартных диодных насосов применяются два титановых катода в каждой секции откачки. Диодные насосы серии TiTan CV используются в большинстве случаев благодаря большому ресурсу, надежности и высокой скорости откачки. Эти насосы не рекомендуется использовать, если в откачиваемой среде присутствует значительное количество водорода или инертных газов.
|
В конструкции дифференцированных диодных насосов применяются титановый и танталовый катод, чтобы увеличить скорость откачки инертных газов. Тантал вследствие своего большого атомного номера образует большое количество заряженных частиц, которые могут замуровывать себя и молекулы инертных газов в местах, наименее подверженных вторичному распылению. Тантал, сам по себе, менее эффективен, чем титан в качестве геттера. Поэтому скорость откачки TiTan Di немного ниже, чем у TiTan CV.
|
Магниторазрядные насосы серии TiTan TR (triode) отлично работают как в случае высокого стартового давления, так и в случае наличия постоянной течи.
|
Выбор правильного типа насоса
Благодаря тому, что компания Gamma Vacuum производит очень широкую линейку ионно-гетерных насосов, мы можем легко подобрать наиболее подходящий насос под ваше применение.
В конструкции ионных насосов TiTan™ используются элементы разных видов, специально созданные под различные области применения. Для удаления потенциальных загрязнителей элементы насосов прошли специальную химическую обработку, это также обеспечивает большой ресурс работы. Электрические изоляторы изготовлены из высококачественного оксида алюминия, защищенного экраном от распыления.
Ионные насосы TiTan™
|
|
Скорость откачки (л/с) |
Присоединительный Фланец (ДУ, мм) |
Габаритные размеры (H) |
Вес, (кг) |
Совместимость с моделью контроллера |
Виды используемых элементов |
|||
|
SPC |
LPCe |
MPCe |
TSP |
||||||
|
SMALL ION PUMPS |
|
||||||||
|
0,2 |
CF16 |
38×38×51 |
0,35 |
Х |
|
|
|
DI |
|
|
2-3 |
CF16 |
45×45×108 |
0,35 |
Х |
|
|
|
CV/DI |
|
|
8-10 |
CF35 |
107х113х190 |
6 |
Х |
|
|
|
CV/DI |
|
|
15-20 |
CF35 |
202х125х130 |
9 |
Х |
|
|
|
CV/DI/TR |
|
|
30-40 |
CF35/CF63 |
209х251х130 |
16 |
Х |
Х |
|
|
CV/DI/TR |
|
|
40-75 |
CF35/CF63/CF100 |
277х242х130 |
19 |
Х |
Х |
|
|
CV/DI/TR |
|
|
LOW PROFILE ION PUMPS |
|
||||||||
|
80-100 |
CF100 |
325x325х128 |
29 |
|
Х |
Х |
|
CV/DI/TR |
|
|
160-200 |
CF150 |
325х413х233 |
49 |
|
Х |
Х |
|
CV/DI/TR |
|
|
240-300 |
CF150 |
325х413х337 |
66 |
|
Х |
Х |
Х |
CV/DI/TR |
|
|
320-400 |
CF150 |
325х413х413 |
72 |
|
|
Х |
Х |
CV/DI/TR |
|
|
320-400 |
CF150 |
508х413х233 |
115 |
|
|
Х |
Х |
CV/DI/TR |
|
|
480-600 |
CF150 |
325х513х513 |
103 |
|
|
Х |
Х |
CV/DI/TR |
|
|
480-600 |
CF150 |
508х413х336 |
115 |
|
|
Х |
Х |
CV/DI/TR |
|
|
640-800 |
CF150 |
508х413х413 |
124 |
|
|
Х |
Х |
CV/DI/TR |
|
|
960-1200 |
CF150 / CF200 |
537х513х513 |
206 |
|
|
Х |
Х |
CV/DI/TR |
|
|
TALL PROFILE ION PUMPS |
|
||||||||
|
120-150 |
CF100 |
338x247x231 |
32 |
|
Х |
Х |
Х |
CV/DI/TR |
|
|
240-300 |
CF100 |
345x450x231 |
65 |
|
Х |
Х |
Х |
CV/DI/TR |
|
|
480-600 |
CF100 |
525x450x305 |
109 |
|
|
Х |
Х |
CV/DI/TR |
|
Контроллеры ионных насосов Digitel™
Технические характеристики контроллеров ионных насосов Digitel™
