Tetra-150-LF

Плазменные установки TETRA-150-LF


Промышленная установка "plasma system TETRA-150-LF" с камерой на 150 л и автоматическим управлением применяется для очистки, травления и активации.




Plasma system TETRA-150-LF для очистки, активации и травления поверхности в промышленном производстве.

Шестиярусный блок загрузки камеры и вращающийся барабан для систем TETRA (plasma system)


Plasma system TETRA-150-LF для очистки, активации и травления поверхности в промышленном производстве.


Технические характеристики


Технические характеристики:

Plasma cleaner TETRA 150-LF

Шкаф распределительного устройства:

Ш 1000 mm, В 2.100 mm, Г 1000 mm

Камера:

Ш 400 mm, Г 625 mm, В 600 mm

Объем камеры:

~ 150 литров

Подвод газа:

2 регулятора расхода газа с игольчатыми клапанами

Генератор:

40 кГц / 0 – 2.500 Вт
(опционально: 13.56 МГц или 2.45 ГГц)

Вакуумный насос:

Leybold, тип D65B (65 m³/h)

Комплектация:

До 16 ярусов(до 16 подложек для обрабатываемых образцов)
(опционально: вращающийся барабан))

Управление:

ПК управление (Windows)