Плазменные установки PICO
Лабораторная пятилитровая установка "Plasma system PICO" с полуавтоматическим управлением применяется в следующих отраслях производства:
- Мелкосерийное прооизводство
- Аналитика (REM, TEM)
- Медицинская техника
- Научно-исследовательские работы
- Археология
- Полупроводниковая техника
- Техника обработки пластмасс
Малогабаритная установка "plasma system PICO":
исследовательские работы, очистка, травление, оптика, лазерная техника
Технические характеристики
Технические характеристики: |
Plasma cleaner PICO |
Шкаф распределительного устройства: |
Ш 550 мм, В 330 мм, Г 500 мм |
Камера: |
Ø 150 мм, Г 320 мм |
Объем камеры: |
~ 5 литров |
Подвод газа: |
2 регулятора расхода газа с игольчатыми клапанами |
Генератор: |
40 кГц / 200 Вт, бесступенчатый (опционально: 13,56 МГц или 2,45 ГГц) |
Вакуумный насос: |
Leybold, тип Trivac D5B (5 м³/ч) |
Комплектация: |
Подложка для обрабатываемых образцов – 1 шт. |
Управление: |
Ручное, время устанавливается таймером |