Насосы EBARA серии EV-S

Необходимость уменьшения энергопотребления является одной из основных тем для обсуждения в области проектирования без масляных вакуумных насосов. японский вакуумный насос Ebara В зависимости от технологического процесса затраты на электроэнергию могут достигать 60% от общего потребления в процессе производства. Основные области применения насосов EV-S: откачка загрузочных камер, откачка вакуумных камер сканирующих электронных микроскопов, PVD-процессы. Использование насосов новой серии EV-S позволяет сократить потребление энергии в несколько раз.

В насосах серии EV-S использованы высокоэффективные электродвигатели, оптимизировано число ступеней сжатия, улучшена система управления двигателем при помощи системы интеллектуального контроля. Эти достоинства способствуют снижению расходов на эксплуатацию и повышению прибыльности для наших клиентов.

Преимущества:

- Низкое потребление энергии
- Отсутствие необходимости в потреблении азота для чистых процессов
- Высокая коррозионная стойкость
- Насосы имеют сертификаты: ЕС, Национальной Поверочной Лаборатории полупроводников, Международной организации полупроводникового оборудования и материалов S2


EV-S20N	EV-S50P

Технические характеристики

Характеристики/Модель	EV-S20	EV-S50	EV-S100	EV-S200
Быстрота действия, м3/час	100	300	600	1200
Предельное остаточное давление, мбар	3.0х10^-2	5.0х10^-3	5.0х10^-3	5.0х10^-3
Соединительный фланец	KF 50	KF 50	KF 80	ISO-K 100
Максимальная потребляемая мощность (при минимальном остаточком давлении), кВт	2.2 (0.4)	3.6 (0.55)	4.6 (0.65)	5.1 (0.75)
Расход охлаждающей воды, л/мин	1.5-3	2-3	2-3	2-3
Расход азота на продувку, л/мин	10-12	10-12	10-13	10-12
Габаритные размеры, ДхШхВ, мм	450 х 230 х 275	450 х 230 х 520	510 х 260 х 520	650 х 275 х 580
Масса, кг	60	100	120	170

Инструкция: Многоступенчатый вакуумный насос с сухим уплотнителем. Серия EV-S

Каталог сухих форвакуумных насосов и систем нейтрализации опасных газов Ebara (Япония)