Сухие насосы EBARA серии ESA
Сухие насосы EBARA серии ESA предназначены для откачки незагрязненных сред и специальных применений. Насосы спроектированы для работы в условиях высокой газовой нагрузки и высокой быстроты действия. Насосы серии ESA обладают быстротой действия от 150 до 3000 м3/ч.
|
|
|
|
ESA25-D |
ESA70W-D |
ESA300W |
Модели ESA25-D, ESA75W-D и ESA200W специально спроектированы для откачки в процессах с повышенным содержанием водорода, а 3-х лепестковая конструкция многоступенчатого насоса Рут позволяет предотвратить обратное натекание водорода в откачиваемый объем. Модели ESA300W и ESA500W идеально подходят для откачки загрузочных камер большого объема и откачки систем производства жидко-кристаллических панелей.
Преимущества:
- Высокопроизводительный базовый насос c возможностью регулирования частоты вращения
- Высокая скорость откачки, даже в диапазоне давлений, близких к атмосферному
- Использование высокотехнологичных бесщеточных двигателей постоянного тока
- Интеллектуальная система управления
- Возможность работы насоса при высоких температурах для предотвращения конденсации
- Низкий уровень шума и вибраций
- Низкое потребление электроэнергии, азота, охлаждающей воды
- Режим ожидания для экономии электроэнергии
Каталог сухих форвакуумных насосов и систем нейтрализации опасных газов Ebara (Япония)
Технические характеристики
|
Характеристики/Модель |
ESA25-D |
ESA70W-D |
ESA200W |
ESA300W |
ESA500W |
|
Быстрота действия, м3/час |
150 |
420 |
1200 |
1680 |
3000 |
|
Предельное остаточное давление, мбар |
2х10-2 |
2.7х10-3 |
5.3х10-3 |
5.3х10-3 |
1х10-2 |
|
Соединительный фланец |
KF 50 |
KF 50 |
KF 80 |
ISO-K 100 |
ISO-K 160 |
|
Максимальная потребляемая мощность (при минимальном остаточком давлении), кВт |
3.7 (2.6) |
5.9 (3.6) |
4 (3.4) |
11 (6.6) |
24.1 (6.7) |
|
Расход охлаждающей воды, л/мин |
3.5-8 |
3.5-8 |
3.5-8 |
6-9 |
6-9 |
|
Расход азота на продувку, л/мин |
11-13 |
14-16 |
11-13 |
5-7 |
5-7 |
|
Габаритные размеры, ДхШхВ, мм |
1074 х 394 х 520 |
985 х 400 х 770 |
970 х 400 х 907 |
1110 х 620 х 945 |
1110х 620х1010 |
|
Масса, кг |
240 |
300 |
420 |
700 |
750 |
