«Сухой» гелиевый течеискатель Inficon UL5000

«Сухой» гелиевый течеискатель Inficon UL5000 - эталон чувствительности и скорости. Течеискатель UL5000 обеспечивает быструю откачку, минимальное время отклика и предназначен для применения в наиболее критических и требовательных приложениях в области полупроводниковой, атомной, аэрокосмической и медицинской промышленностей.

Достоинства и преимущества гелиевого течеискателя INFICON UL5000:

- Внесен в Государственный реестр СИ РФ

- Широкий диапазон измерения (более 15 декад)
- Очень быстрая откачка и короткое время отклика
- Полностью металлический корпус на колесиках для мобильности и удобства эксплуатации
- Программный алгоритм HYDRO-S (подавление влияния десорбции воды со стенок вакуумной системы) для более быстрого установления состояния готовности к испытанию (время готовности к поиску течи на уровне 1E-9 мбар л/с для камеры 100л в пять раз меньше в сравнении с основными конкурентами)
- I-CAL (программный алгоритм расчета скорости утечки), чтобы обеспечить минимальное время отклика при обнаружении течи во всем диапазоне измерений
- Функция нуля с автоматической регулировкой времени интегрирования для быстрого получения достоверных результатов испытания
- Продуманная конструкция вакуумной системы с надежным спиральным насосом и ДВУМЯ турбомолекулярным насосами, первый высокопроизводительный ТМН откачивает непоредственно испытываемый объем, а второй с несколькими входными каналами, обеспечивает поддержание требуемого давления в блоке масс-спектроскопии

- Спиральный насос, используемый в течеискателях UL1000Fab и UL5000 разработан специально для компании Inficon и поставляется только в составе течеискателей Inficon, он обладает рекордной степенью сжания гелия среди аналогичных форвакуумных насосов. В том числе поэтому точность, быстрота реагирования и значение предельной обнаруживаемой течи у сухих течеискателей Inficon лучше, чем практически у любого конкурента.
- Вращаемый дисплей с пользовательским интерфейсом обеспечивает простое и удобное управление и взаимодействие с течеискателем
- Легкое и безопасное перемещение по помещению силами одного человека, продуманная конструкция: за счет пары колесиков большого диаметра гелиевый течеискатель легко перемещать через пороги
- Функции самозащиты для предотвращения загрязнения течеискателя UL5000 гелием и мелкодисперсными частицами
- Цикл автоматической продувки для очистки и подготовки гелиевого течеискателя к проведению испытания
- Обновления ПО рассылаются по электронной почте
- Новая конструкция рабочей установки с рабочей поверхностью оптимальной высоты, с ковриком для снятия электростатического заряда и инструментальным ящиком с замком
- Надежная масс-спектрометрическая система с ионным источником с двойным катодом (3 года гарантии) обеспечивает длительное время безотказной работы и низкие эксплуатационные расходы
- Встроенная контрольная течь для внутренней калибровки, чтобы обеспечить достоверные результаты испытаний

Свидетельство
об утверждении типа средств измерений
DE.C.31.001.A №47169
Выдано Федеральным агентством по техническому регулированию и метрологии РФ (РОССТАНДАРТом)

В случае внезапного отключения электропитания течеискатель UL5000 продолжает работать автономно, используя для генерации электроэнергии турбомолекулярный насос, ротор которого вращается по инерции в вакууме. В этом режиме питание получает система управления и клапанный блок, позволяя даже полностью обесточенному прибору автоматически провести все необходимые процедуры для штатного отключения. Это одна из встроенных функций, благодаря которой достигается беспрецедентный уровень надежности и отказоустойчивости гелиевых течеискателей Inficon.

Компания ЭмЭсЭйч Техно Москва оказывает услуги по проверке на герметичность и поиску течей с применением гелиевых масс-спектрометрических течеискателей Inficon серии UL.

Типичные применения:

- Проверка на герметичность компонентов, сборок и больших вакуумных камер, используемых в полупроводниковой промышленности и производстве плоских дисплеев
- Проверка на герметичность компонентов, сборок, узлов и систем в аэрокосмической промышленности
- Проверка на герметичность медицинского оборудования: кардиостимуляторов, катетеров, рентгеновских трубок, узлов магниторезонансных томографов
- Проверка на герметичность в атомной промышленности

Гелиевый течеискатель Inficon UL5000

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ	UL5000
*Мин. обнаруживаемая течь для гелия (в режиме Vacuum)):**	меньше 5 х 10^-12 мбар л/с
*Мин. обнаруживаемая течь для гелия (в режиме Sniffer)):**	меньше 5 х 10^-8 мбар л/с
Макс. обнаруживаемая течь для гелия, которую можно отобразить	3 мбар л/с
Макс. давление на входе Режим GROSS (Макроскопический): Режим FINE (Микроскопический): Режим ULTRA (Сверхчувствительный):	15 мбар 2 мбар 0,4 мбар
Быстрота действия форвакуумного насоса (скорость откачки при создании вакуума)	25 м³/ч при 50 Гц 30 м³/ч при 60 Гц
Скорость откачки гелия Режим GROSS (Макроскопический): Режим FINE (Микроскопический): Режим ULTRA (Сверхчувствительный):	макс. 8 л/с макс. 20 л/с больше 20 л/с
Постоянная времени сигнала интенсивности течи (заглушен, 63% от окончательного значения)	меньше 1 с
Время откачки до состояния готовности к течеисканию (остаточное давление 5 x 10^-9) Без дополнительного объема При испытательном объеме 1 л При испытательном объеме 10 л	5 с 48 с 150 с
Время отклика (для скорости утечки 10^-9 мбар л/с) При объеме до 1 л При объеме до 10 л	меньше 1 с меньше 2 с
Продувка (при испытательном объеме 100 л)	приблизительно 25 с
Время установления состояния готовности к работе	меньше 3 мин
Регистрируемые массы	2, 3, 4 а.е.м. (H₂, 3He, He)
Масс-спектрометр	секторное (180°) магнитное поле
Источник ионов	двойной иридиевый катод, покрытый оксидом иттрия
Скорость утечки калиброванной течи TL7 (встроенная) в диапазоне	10^-7 мбар л/с
Единицы измерения (по выбору)	мбар л/с, Па м³/с, торр л/с, атм см³/с, g/a (только в режиме Sniffer), промилле
Присоединительный фланец	40 KF
Настраиваемые уровни срабатывания	2
Интерфейс	RS 232
Входы/Выходы	ПЛК-совместимые для управляющих данных и информации о состоянии
Выход для самописца	2 х 10 В
Напряжения питания	230 В (±10%) 50 Гц 115 В (±10%) 60 Гц 100 В (±10 %) 50/60 Гц
Потребляемая мощность	1200 ВА
Габаритные размеры (Д х Ш х В)	1080 мм х 530 мм х 1083 мм (42,5" x 21" x 42,6")
Масса	140 кг
Степень защиты	IP 40
Допустимая температура окружающего воздуха (во время работы)	+10 °C.... +40 °C
*) согласно AVS и EN 1518
ИНФОРМАЦИЯ ДЛЯ ЗАКАЗА	ШИФР ИЗДЕЛИЯ
UL5000, 230 В, 50 Гц, сетевая вилка евростандарта UL5000, 100/115 В, 50/60 Гц, сетевая вилка североамериканского стандарта В комплект всех моделей UL5000 входят инструментальный ящик и коврик для снятия электростатического заряда	550-500 550-501
Комплект для дистанционного управления Портативный блок Соединительный кабель (обязательно), 4 м Удлинительный кабель, 10 м (макс. длина кабеля-удлинителя 34 м)	200 99 022 2 00 99 027 14022
Принадлежности: Держатель резервуара с гелием Пакет ПО LeakWare для ПК Щуп с соединительным шлангом SL200, 4 м Переходник 40/25 KF для подсоединения SL200 к впускному отверстию UL5000	551-001 140 90 14005 211-283

Инструкция: Гелиевый течеискатель UL5000

Инструкция: Гелиевый течеискатель UL5000: Запасные части

Инструкция: Гелиевые течеискатели UL1000 (Fab) / UL5000: Описание интерфейса

Каталог приборов для течеискания INFICON (Германия)