Новая установка осаждения тонких пленок HHV TF500 поставлена российскому заказчику.

01.05.2012

Очередная напылительная установка, производства компании HHV модели TF500 промышленного класса поставлена заказчику – российскому предприятию оборонной промышленности, специалисты нашей компании приступили к пуско-наладке и обучению сотрудников предприятия работе на установке.

Поставленная установка предназначена для напыления металлических и диэлектрических тонких пленок, оборудована четырьмя магнетронами с возможностью распыления на постоянном и ВЧ токе. Также установка имеет встроенную систему измерения толщины напыляемого слоя Inficon на базе кварцевого датчика и систему нагрева подложек для лучшей адгезии покрытий. По периметру вакуумной камеры смонтированы экраны для облегчения очистки. Вакуумная система установки состоит из турбомолекулярного и спирального насосов, что позволяет получать в рабочей камере безмасляный вакуум. Система управления установкой построена на базе ПЛК с сенсорным дисплеем, дружественный и интуитивно понятный интерфейс позволяет значительно упростить работу с установкой.